የቫኩም መስመር RF ፕላዝማ መሳሪያዎች

የቫኩም ኢንላይን RF plasma Equipment የታተሙ የወረዳ ሰሌዳ ንጣፎችን ለማጽዳት እና ለማንቃት የተሰራ ልዩ መሣሪያ ነው ፣ በተለይም ለ IC substrate መተግበሪያዎች። በዋነኛነት ጥቅም ላይ የሚውለው ከደረቅ የፊልም ምስል ደረጃ እና ከድህረ{1}የሽያጭ ጭንብል ሽፋን በኋላ ነው፣ ትክክለኛው የወለል ዝግጅት የማጣበቅ ጥንካሬን ለማሻሻል እና በቀጣይ ሂደቶች ከፍተኛ አስተማማኝነትን ለማረጋገጥ አስፈላጊ ነው። ቁጥጥር ባለው የቫኩም ክፍል ውስጥ የፕላዝማ ህክምናን በመተግበር ስርዓቱ የኦርጋኒክ ቅሪቶችን እና የገጽታ ብክለትን በሚገባ ያስወግዳል፣ ይህም አጠቃላይ ትስስር አፈጻጸምን እና የምርት ጥራትን ያሻሽላል።

የዚህ መሳሪያ ልዩ ባህሪ ባለሁለት ክፍል{0}አርክቴክቸር ነው። እያንዳንዱ ክፍል ራሱን የቻለ የቫኩም ፓምፕ እና የ RF ፕላዝማ ጄኔሬተር የተገጠመለት ሲሆን ይህም ትይዩ ኦፕሬሽን ወይም ተለዋጭ አጠቃቀምን ያስችላል። ይህ የውጤት መጨመርን ብቻ ሳይሆን የአሠራር ተለዋዋጭነትንም ይሰጣል. የረዥም ጊዜ መረጋጋትን ለመጠበቅ ስርዓቱ ለፓምፖች እና ለፕላዝማ ምንጮች የማይለዋወጥ የሙቀት መጠንን የሚያረጋግጥ የተዘጋ{5}}ሉፕ ማቀዝቀዣ ሞጁሉን ያዋህዳል። አውቶሜትሽን ለሚፈልጉ የማምረቻ መስመሮች፣ አማራጭ የመጫኛ እና የማራገፊያ ዘዴዎችን በመጨመር በእጅ አያያዝን ለመቀነስ እና የተፋሰስ እና የታችኛው ተፋሰስ መሳሪያዎች ጋር ያለችግር ግንኙነትን ለማመቻቸት።

በስርዓቱ ውስጥ ያለው የቁሳቁስ ፍሰት በጥንቃቄ የተነደፈ ነው. ቦርዶች ወደ ግቤት ጣቢያው ይደርሳሉ እና በሮቦቲክ ግሪፐርስ ይጠበቃሉ፣ ከዚያ በኋላ ንኡስ ክፈፎችን ወደ ንዑስ ክፈፍ ያስቀምጣሉ። በአሳንሰር መድረክ እና በሚነዱ ሮለቶች የተደገፈ ሰሌዳዎቹ ለፕላዝማ ሕክምና ወደ ቫኩም ክፍል ይወሰዳሉ። ሂደቱ ከተጠናቀቀ በኋላ, ተመሳሳይ ሮለቶች ቦርዶቹን ከክፍሉ ውስጥ ያስተላልፋሉ, ከዚያም ተቆጣጣሪዎቹ እንደገና ያነሳቸዋል እና ወደ ቀጣዩ ደረጃ ያስረክቧቸዋል. ንዑስ{5}ክፈፉ በራስ-ሰር በጣቢያዎች መካከል ይሽከረከራል፣ ይህም ያለምንም አላስፈላጊ የእረፍት ጊዜ ለስላሳ እና ቀልጣፋ የስራ ፍሰት ያረጋግጣል።