ለሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች የ RF Plasma መሳሪያዎች

የ RF Plasma Equipment ለሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች የላቀ ሴሚኮንዳክተር ማሸጊያ እና የገጽታ አያያዝ ሂደቶች የተነደፈ ልዩ የጽዳት ክፍል ነው። መሳሪያዎቹ ከከፍተኛ{1}አረብ ብረት የተሰራ፣በመጨማደዱ{2}}የጨርቅ የዱቄት ሽፋን በነጭ የተሰራ ጠንካራ ካቢኔን ያቀርባል፣ይህም ዘላቂነት እና ንፁህ የኢንዱስትሪ ገጽታ። ዋናው የቫኩም ክፍል የሚመረተው ከ25 ሚሜ ያላነሰ ውፍረት ካለው ከፍተኛ-ንፁህ የአሉሚኒየም ሳህኖች ሲሆን ይህም እጅግ በጣም ጥሩ የማተም ስራ እና የረጅም ጊዜ መዋቅራዊ መረጋጋትን ያረጋግጣል። የውስጥ ክፍል ልኬቶች 450 × 450 × 450 ሚሜ ናቸው፣ ሙሉ በሙሉ የታሸገ አንድ{11}ቁራጭ ኤሌክትሮድ ሳህን 410 × 430 ሚሜ ያለው። የስራ ቅርጫቶች በቀጥታ በኤሌክትሮል ሳህን ላይ ይቀመጣሉ፣ እሱም ከመዳብ ኤሌክትሮድ መሰረት ጋር በተሰካ ንድፍ በኩል ይገናኛል፣ ይህም በሚሰራበት ጊዜ ቀልጣፋ እና የተረጋጋ የፕላዝማ መፈጠርን ያረጋግጣል።

ስርዓቱ የሚቆጣጠረው በ PLC መድረክ ሲሆን ይህም በእጅ እና ሙሉ በሙሉ አውቶማቲክ ሁነታዎች መካከል እንከን የለሽ መቀያየርን ይፈቅዳል። ሁሉም የአሠራር መለኪያዎች በቅጽበት ሊዋቀሩ፣ ሊስተካከሉ፣ ሊከማቹ እና ሊቆጣጠሩ ይችላሉ። የተቀናጀ የ PID መቆጣጠሪያ ዑደት የበለጠ መረጋጋትን እና ትክክለኛነትን ያሻሽላል። ብዙ የሂደት አዘገጃጀቶች እንደ አስፈላጊነቱ ሊቀመጡ እና ሊታወሱ ይችላሉ, ይህም በተለይ በተደጋጋሚ የሂደት ለውጥ ለሚፈልጉ አካባቢዎች ጠቃሚ ነው. የቫኩም ሲስተም በደረቅ የፓምፕ ስብስብ ይንቀሳቀሳል, ፈጣን የፓምፕ ፍጥነት ያቀርባል, ክፍሉ በተለምዶ በ 100 ሰከንድ ውስጥ ወደሚፈለገው የቫኩም ደረጃ ይደርሳል.